具有灵活的接口性能，其电流灵敏度、电荷测量能力、分辨率和速度都优于我们之前的静电计。内置式

IEEE-488、RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置为全自动、高速系统，用于低电平测试。

6514型静电计特点

<1fA 噪声

电压测量时，输入阻抗>200TΩ

电荷测量范围：10fC-20µC

速度可达1200个读数/秒

简易的用户界面提供开关，计算机以及元件处理器

主动消除电压与电流的偏移

主要技术指标

型号

6514

6517B

电流测量

<1fA(包含噪声)～20mA

电压测量

10µV(数字分辨率极限，可能含有噪声)～200V

电阻测量

10Ω～200GΩ

100Ω～10PΩ

最低电阻精度优于1%，最高电阻精度优于10%

（使用236、237、238测量，通过加电压测电流或加电流测电压实现，不直接显示阻值）

电荷测量

10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～20µC

10fC(数字分辨率极限，可能含有噪声)～2µC

特性插头

3 Slot Triax

3 Slot Triax

IEEE-488

有

有

RS-232

有

有

Guard

有

有

CE

有

有

其它

5 1/2精度，替代6512、617-HIQ

5 1/2精度，内置±1kV电压源。湿度、

温度测量。采用交替电压极性法测高阻

可配置多通道的扫描卡

附件

237-ALG-2低噪声三同轴电缆，

237-ALG-2低噪声三同轴电缆，

鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线

鳄鱼夹型2m长3插槽三同轴线，

8607安全型高压双路测试线，

6517-TP热电偶探针，

CS-1305互锁连接头